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燥樣品：晶圓片干燥專用，，適用于多種尺寸樣品，每次最多5片樣品；

觀察視窗：帶藍寶石視窗和照明的高壓樣品腔，便于觀察樣品池內部情況；

樣品池材質：316L不銹鋼一體加工，ep處理，適用于液態二氧化碳、高純乙醇、IPA和丙酮；

制冷模式：內置壓縮機制冷，避免了二氧化碳制冷造成的氣體浪費，制冷溫度可快速達到0℃；

樣品池填充：PTFE樣品室填充環可以調整樣品室內徑到適配2”，4”，6”晶圓片，節省LCO2用量，縮短干燥時間，提高干燥效率；

過濾系統：包含雙級過濾，一級過濾精度：0.5um，二級過濾精度：0.003um；

生產工藝：全部生產，測試流程均在無塵室操作，配件均為高潔凈度；

壓力控制：儀器備有超壓自動泄壓系統，確保壓力可控；

軟件設計：內置多種處理程序，也可自定義程序并重復使用，圖形化界面顯示；

回收循環：可選配帶有co2回收接口的二氧化碳高壓泵，可實現co2增壓和循環；

機箱設計：堅固防腐蝕的箱體，桌面放置，節省空間。