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大腔體雙靶磁控濺射儀SSG-200A
為了使電子顯微鏡中的樣品能夠成像,它們需要有導電性,通過在樣品上形成導電層的鍍膜,用來抑制電荷,減少熱損傷,并提高在SEM中定位檢查所需的二次電子信號。
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  • 產(chǎn)品概覽
  • 產(chǎn)品特點
  • 視頻介紹
  • 技術(shù)參數(shù)

    樣品腔尺寸

    直徑300mm x高度130mm

    低真空度

    極限真空度:<0.1Pa,工作真空度:0-10Pa

    高真空度

    極限真空度:<10-3Pa,工作真空度:0.1-2Pa

    靶材尺寸

    規(guī)格:直徑57mm x 0.1mm厚,數(shù)量:2個

    樣品臺轉(zhuǎn)速

    4-20rmp

    抽速

    66L/min

    濺射電流

    1-500mA,連續(xù)可調(diào)

    濺射時間

    1-999s,連續(xù)可調(diào)

    保護氣

    氬氣

    操作方式

    全自動,手動

    電源

    220V,50Hz,800w

    機箱尺寸

    長寬高45*40*50cm


    樣品腔尺寸:大樣品倉設計,適合8英或140×140寸及以下方形樣品;

    樣品腔真空度:高低兩種真空度配置可選,恒壓控制;

    樣品臺:樣品臺旋轉(zhuǎn)設計,可以裝載多種樣品,高度可調(diào)范圍為40mm;

    靶材:多種靶材可選,常用有:碳靶材,金靶材和鉑金靶材可選;

    濺射電流:微處理器控制,安全互鎖,可調(diào),最大電流500mA,程序化數(shù)字控制;

    濺射頭:雙磁控濺射靶頭設計,工作效率高,樣品適用性好,無熱損傷;

    真空計:皮拉尼真空計,全量程復合真空規(guī),可選;

    真空泵:雙級直連式高速真空泵,干泵+渦輪分子泵,可選;

    厚度監(jiān)控:使用高分辨厚度監(jiān)控儀,精確測定所鍍膜的厚度;(選配)

    操作方式觸摸屏操作,自動流程,一鍵控制,操作簡便;

    機箱設計:堅固防腐蝕的箱體,帶有電源、電壓、電流、真空度等顯示。



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